Informazioni di Base.
Model No.
CY-1200X-4
Struttura
Tipo orizzontale
manometro
anticorrosivo
temperatura massima
1100c
generatore di vapore liquido
automatico
valvola ald
due
garanzia
un anno
nome
forno a tubo ald
Pacchetto di Trasporto
scatola di legno
Specifiche
diam. 100 mm
Marchio
cy
Origine
Zhengzhou, China
Codice SA
85141090
Capacità di Produzione
210 set al mese
Descrizione del Prodotto
Forno a tubo ALD a due canali da 4" fino a 1200 oC
È un forno a tubo da 4" che si combina con valvole ALD a due canali e erogazione di vapore liquido a un canale (deposizione di strato atomico) E, oltre a un sistema di erogazione del gas a quattro canali per la crescita CVD di film nanomateriali e pi. Il design intelligente rende ALD più conveniente e conveniente per ogni gruppo di ricerca.
È un forno a tubo da 4" che si combina con valvole ALD a due canali e erogazione di vapore liquido a un canale (deposizione di strato atomico) E, oltre a un sistema di erogazione del gas a quattro canali per la crescita CVD di film nanomateriali e pi. Il design intelligente rende ALD più conveniente e conveniente per ogni gruppo di ricerca.
| Pannello di controllo | Tutti i parametri di flusso di vapore, ALD e Gas sono controllati da PLC tramite un pannello touch screen da 6" in un carrello mobile Valvola ALD a due canali Per canali erogazione gas MFC |
| Valvola ALD | Due valvole ALD con regolatore a impulsi (durata min 10 ms ) In grado di riscaldare con attuatori termici |
| Generatore di vapore liquido | Il generatore automatico di vapore liquido è incluso e si collega ad ALD valvola |
| Forno a tubo diviso a due zone | Max 1100ºC per riscaldamento continuo Due termoregolatori digitali di precisione programmabili con 30 segmenti. Due zone di riscaldamento controllate separate 200 mm di lunghezza per ciascuna zona di riscaldamento 400 mm di lunghezza totale di riscaldamento 250 mm di temperatura centrale costante di riscaldamento se entrambe le zone sono riscaldato alla stessa temperatura 500ºC differenza di temperatura massima tra due zone con blocchi termici tra Potenza in ingresso: 208 - 240 V CA in ingresso, monofase a max 4 KW Opzionale: Il sistema di controllo ALD può essere installato con un forno a tubo corto come mostrato nella figura belo |
| Manometro anticorrosivo | Gamma di misurazione da 3, 8x10-5 a 1125 Torr Anticorrosivo, indipendente dal tipo a gas Elevata precisione e riproducibilità in atmosfera per una pressione atmosferica affidabile rilevamento Il rilevamento rapido dell'atmosfera elimina i tempi di attesa e riduce il ciclo di processo Elemento sensore plug & Play di facile sostituzione |
| Pompa a vuoto (opzionale) | IL Vuoto DI 10E-2 Torr può essere ottenuto all'interno del tubo di lavorazione La pompa per vuoto non è inclusa, suggerite di ordinare un secco Pompa per processo CVD |
Più Bubbler Opzionale | Gorgogliatore o evaporatore per CVD Potrebbe aggiungere Quarzo Crystal e termocoppia al monitoraggio Di film sottile spessore e temperatura a un costo aggiuntivo |
| Aggiorna idea | È possibile utilizzare il dispositivo ALD per costruire plasma ibrido potenziato ALD+ CVD E ALD+PVD+CVD per la crescita di materiali complessi |
| Garanzia | Garanzia limitata di un anno con supporto a vita |
